SiO2鈍化膜中鈉離子的二次離子質譜分析
前 言 對于半導體器件而言，在管芯表面覆蓋鈍化膜的保護措施是非常必要的，鈍化膜是器件的最終的鈍化層和機械保護層，可以起到電極之間的絕緣作用，減弱和穩定半導體材料的多種表面效應，防止管芯受到塵埃、水汽酸氣或金屬顆粒的沾污，一般采用CVD 工藝（化學氣相沉積，Chemical Vapor Deposition）生長二氧化硅或氮化硅作為鈍化膜，對于不同器件鈍化膜的組分、厚度有差異，鈉離子在鈍化膜中的遷移率較高，對器件性能影響大，又大量存在于環境之中，很容易造成污染，所以鈉離子的含量成為評價鈍化工藝質量好壞的一個重要標志1～5，對于鈍化膜中鈉離子的檢測也就很重要。二次離子質譜（SIMS）6分析具有靈敏度高、微區分析、深度剖析的優點，是檢測鈍化膜中鈉離子濃度分布的有效手段，可以給出鈉離子在鈍化膜中的實際的分布。本工作采用二次離子質譜法對二氧化硅鈍化膜中鈉離子濃度進行檢測。 1 實驗部分 1.1......閱讀全文
SiO－2鈍化膜中鈉離子的二次離子質譜分析
前 言? 對于半導體器件而言，在管芯表面覆蓋鈍化膜的保護措施是非常必要的，鈍化膜是器件的最終的鈍化層和機械保護層，可以起到電極之間的絕緣作用，減弱和穩定半導體材料的多種表面效應，防止管芯受到塵埃、水汽酸氣或金屬顆粒的沾污，一般采用CVD 工藝（化學氣相沉積，Chemical Vapor Dep
SiO2－鈍化膜中鈉離子的二次離子質譜分析
1.1 儀器 法國CAMECA 公司的IMS-4fE/7 型二次離子質譜儀, 配備雙等離子源和銫離子源, 中和電子槍。?1.2 樣品 樣品結構:SiO 采用CVD方法在拋光硅晶片 上生長的二氧化硅薄膜, 厚度在1000 埃至5000 埃之間, 樣品處理: 為避免表面沾污對于測試結果的影響, 用去離子
動態二次離子質譜分析（DSIMS）
動態二次離子質譜分析（D-SIMS）1. 飛行時間二次離子質譜技術二次離子質譜技術（Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry，D-SIMS）是一種非常靈敏的表面分析技術，通過用一次離子激發樣品表面，打出極其微量的二次離子，根據二次離子的質量來測定元素種類，具有極
質譜分析法術語二次離子質譜法
二次離子質譜法（ secondary ion mass spectrometry， SIMS）采用二次離子質譜儀進行質析的方法，該法依賴于所用不同二次離子質譜儀，可劃分為四極桿二次離子質（quasSenary ion nmss spectrometr）、高分辯二次離子質譜儀（ high resolu
各種食品中鈉離子的測定方案
方案優勢 ? ? ? 常用的直接測定鈉離子的方法包括原子吸收光譜或 ICP。這些方法所需儀器成本高占地大，耗費試劑昂貴，并且樣品制備和儀器校準周期較長。本方案采用一種全新簡便的方法——溫度滴定直接測定鈉離子含量。在對普通的小食品如薄脆餅干、玉米條、番茄醬等實驗后發現，結果準確（與手工滴定值相
二次離子質譜的特點
1.獲得樣品最表層1-3個原子信息深度信息； 2.可以檢測同位素，用于同位素分析 ； 3.達到ppm~ ppb級的探測極限。 4. 可以并行探測所有元素和化合物，離子傳輸率可以達到100%。 5.采用高效的電子中和槍，可以精確的分析絕緣材料。 6. 具有很小的信息深度（小于1nm）；可
二次離子質譜的原理
??? 二次離子質譜是一種非常靈敏的表面成份精密分析儀器，它是通過高能量的一次離子束轟擊樣品表面，使樣品表面的分析吸收能量而從表面發生濺射產生二次粒子，通過質量分析器收集、分析這些二次離子，就可以得到關于樣品表面信息的圖譜。它利用電子光學方法把惰性氣體等初級離子加速并聚焦成細小的高能離子束轟擊樣品表
二次離子質譜的結構
??? 近年來，二次離子質譜這一前沿的分析技術越來越多地被用在了科學研究當中，應用范圍較為廣泛。然而，依然有很多小白對二次離子質譜的基本結構不太了解。那么二次離子質譜的組成結構是怎樣的呢？都有哪些功能和特點？今天小編就來簡單盤點一下。? 二次離子質譜主要由三部分組成：一次離子發射系統、質譜儀、二次
二次離子質譜概述
二次離子質譜（secondary ion mass spectroscopy），是一種非常靈敏的表面成份精密分析儀器，它是通過高能量的一次離子束轟擊樣品表面，使樣品表面的分子吸收能量而從表面發生濺射產生二次粒子,通過質量分析器收集、分析這些二次離子，就可以得到關于樣品表面信息的圖譜。 用一次離
二次離子質譜技術
海洋有機地球化學檢測方法二次離子質譜技術簡述 摘要：海洋有機地球化學是通過研究與還原性碳相關的物質來揭示海洋生態系的 結構、功能與演化的一門科學。由于其中的有機組分通常以痕量、復雜的混合物 形式存在，且是不同年齡、不同來源、不同反應歷史生源物質的集成產物，所以 總體分析困難較大。目前主要是從整體水平
硅中氧、碳的二次離子質譜(SIMS)分析
硅中氧、碳的二次離子質譜（SIMS）分析何友琴馬農農王東雪（電子材料研究所??天津?300192）摘?要?本文采用相對靈敏度因子法，對硅中氧、碳含量的SIMS定量分析方法進行研究。通過對樣品進行預濺射的方法，氧、碳的的檢測限分別可達到6.0e16atoms/cm3、2.0e16atoms/cm3。關
二次離子質譜儀的質譜原理
Secondary-ion-mass spectroscope （SIMS）是一種基于質譜的表面分析技術，二次離子質譜原理是基于一次離子與樣品表面互相作用現象（基本原理如圖1所示）。帶有幾千電子伏特能量的一次離子轟擊樣品表面，在轟擊的區域引發一系列物理及化學過程，包括一次離子散射及表面原子、原子
鈉離子電池的概念
鈉離子電池（Sodium-ion battery），是一種二次電池（充電電池），主要依靠鈉離子在正極和負極之間移動來工作，與鋰離子電池工作原理相似。
鈉離子電池的特性
鈉離子電池的特性直接決定了鈉離子電池未來的應用場景。鈉離子電池跟當前電動汽車行業普遍使用的鉛酸電池和鋰離子電池的特性差異大致可以總結為幾點：?? (1）能量密度方面：鉛酸電池＜鈉離子電池＜鋰離子電池（2）安全性高，高低溫性能優異（3）快充倍率高，有補能優勢
科研人員在原子尺度揭示海洋環境中氯離子誘發銅鈍化膜破裂關鍵機制
銅憑借優異的導熱導電性，在工業與海洋工程領域得到廣泛應用。通常，銅表面在堿性環境中可形成以氧化亞銅為主的鈍化保護膜，來有效抑制腐蝕。然而，在富含氯離子的海洋環境中，該保護膜極易破壞脫落，繼而導致材料失效。此前，有研究提出應力誘導斷裂、局部溶解變薄、孔洞誘導坍塌等多種失效機制，但學界對氯離子如何在原子
質譜分析法中怎樣判斷分子離子峰
第十章質譜分析法一、教學基本要求掌握質譜分析的基本原理，化合物裂解的一般規律，分子離子峰的特征及判定方法，質譜圖的解析方法。能在質譜圖中識別出分子離子峰、基峰、碎片離子峰。了解質譜儀的主要組成部分及功能。二、基本概念與重點內容1．質譜法原理、特點與作用2.質譜儀的工作過程和原理3.質譜圖中離子峰的類
質譜分析法中怎樣判斷分子離子峰
第十章質譜分析法一、教學基本要求掌握質譜分析的基本原理，化合物裂解的一般規律，分子離子峰的特征及判定方法，質譜圖的解析方法。能在質譜圖中識別出分子離子峰、基峰、碎片離子峰。了解質譜儀的主要組成部分及功能。二、基本概念與重點內容1．質譜法原理、特點與作用2.質譜儀的工作過程和原理3.質譜圖中離子峰的類
質譜分析法中怎樣判斷分子離子峰
第十章質譜分析法一、教學基本要求掌握質譜分析的基本原理，化合物裂解的一般規律，分子離子峰的特征及判定方法，質譜圖的解析方法。能在質譜圖中識別出分子離子峰、基峰、碎片離子峰。了解質譜儀的主要組成部分及功能。二、基本概念與重點內容1．質譜法原理、特點與作用2.質譜儀的工作過程和原理3.質譜圖中離子峰的類
質譜分析法術語穩定離子
穩定離子（stable ion）指在離子源生成的，離開離子源后直至到達檢測器不發生裂解的離子。通常指壽命比10-5s長的離子。
質譜分析法術語負離子
負離子（negative ions）帶負電荷的離子，產生于質譜儀的負離子源。
金屬鈍化膜擊破機制研究取得進展
中國科學院金屬研究所固體原子像研究部研究員馬秀良、副研究員張波和博士王靜等人組成的介質條件下材料電子顯微學研究小組在原子尺度下直接獲得金屬表面超薄鈍化膜的剖面顯微圖像，并揭示了氯離子擊破鈍化膜的作用機制。7月2日，英國《自然-通訊》(Nature Communications)在線發表了該項研究
鈉離子電池是什么電池？鈉離子電池的工作原理和優勢
鈉離子電池（Sodium-ion battery），是一種二次電池（充電電池），主要依靠鈉離子在正極和負極之間移動來工作，與鋰離子電池工作原理相似。鈉離子電池的工作原理鈉離子電池在充放電過程中，Na+在兩個電極之間往返嵌入和脫出：充電時，Na+從正極脫嵌，經過電解質嵌入負極；放電時則相反。新款186
鈉離子電池是什么電池？鈉離子電池的工作原理和優勢
鈉離子電池（Sodium-ion battery），是一種二次電池（充電電池），主要依靠鈉離子在正極和負極之間移動來工作，與鋰離子電池工作原理相似。鈉離子電池的工作原理鈉離子電池在充放電過程中，Na+在兩個電極之間往返嵌入和脫出：充電時，Na+從正極脫嵌，經過電解質嵌入負極；放電時則相反。新款186
Thermo－Scientific－鈉離子計在電廠中的應用
鈉離子測量在電廠中的意義 水蒸汽通過測定鈉離子Na+含量，可以反映出蒸汽中含鹽量。在電廠中為了避免和減少過熱器管與汽輪機內沉積鹽垢，保證熱力設備的安全經濟運行，對蒸汽質量的要求是非常嚴格的。通過鈉離子分析儀測定蒸汽的微量鈉含量，可以起到監督和防止在過熱器、汽輪機葉片上積鹽的作用。 在電廠除鹽水的
二次離子質譜技術的分析和應用
二次離子質譜是一種具有超高分辨率和靈敏度的固體表面分析技術。它可以分析氫元素到鈾元素在內的所有元素和同位素，還可以得到固體表面官能團和分子結構等信息。SIMS可以分為靜態SIMS（SSIMS）和動態SIMS（DSIMS）兩種類型，通過不同掃描類型，得到二次離子質譜圖、化學成像、動態深度剖析曲線等
二次離子質譜的原理組成和結構
二次離子質譜Secondary Ion Mass Spectrometry (SIMS)1 引言:離子探針分析儀，即離子探針（Ion Probe Analyzer，IPA），又稱二次離子質譜（Secondary Ion Mass Spectrum，SIMS），是利用電子光學方法把惰性氣體等初級離子加
飛行時間二次離子質譜共享
儀器名稱：飛行時間二次離子質譜儀器編號：13027664產地：德國生產廠家：ION-TOF GmbH型號：TOF.SIMS 5出廠日期：2012.5購置日期：201312所屬單位：化學系>分析中心>北京電子能譜中心放置地點：理科樓D-104固定電話：固定手機：固定email：聯系人：郭沖（010-6
電鍍錫薄鋼板氧化膜和鈍化膜的分析檢測方法
介紹了電鍍錫薄鋼板氧化膜和鈍化膜的分析檢測方法,包括傳統的化學分析方法、電化學分析方法和現代表面分析技術,如X射線光電子能譜(XPS)、俄歇電子能譜(AES)、輝光放電光譜(GDS)以及電子探針微區分析(EPMA)等。
質譜分析技術的離子源的介紹
在早期的質譜研究中，涉及的樣品一般為無機物，檢測目的包括測定原子量、 同位素豐度、確定元素組成等。針對這些要求，需要采用的離子源主要包括電感耦合等離子體（ICP）、微波等離子體炬（MPT）和其他微波誘導等離子體（MIP）、電弧、火花、輝光放電等，幾乎能夠用于原子發射光譜的激發源都可用。 質譜的
鈉離子電池的技術展望
（1）水系鈉離子電池：本征安全的鈉離子電池?以水溶液電解質替換有機電解質，能從根本上提高鈉離子電池的安全性。目前人們已經報道了大量的水系鈉離子電池體系方案，其中普魯士藍體系的循環性能最佳，已經開始產業化嘗試，代表性企業有 Natron Energy、賁安能源等。長期來看，水系鈉離子電池是一個非常有前