飛行時間二次離子質譜共享

1 分析器：反射式

質量分辨率：M/△M

＞1100028SiH+

＞16000 (＞200amu)   

質量范圍: ＞12000amu

2 LMIG：Bi源

最大能量：30keV

最大電流：30nA

最小束斑直徑：＜100nm(Atomic), ＜80nm(Cluster)

3 GCIB (Ar團簇離子槍)  

能量范圍：2.5～20keV

Cluster 大小：約2500（m=100000amu）

4 O2+離子槍 (僅作濺射)

離子能量范圍：0.2～2keV

5 Cs+離子槍(和O2+離子槍共享一個離子光學系統)

離子能量范圍：0.2～2keV

6 帶電中和低能電子槍

能量：1-20eV可調 

7 樣品臺：5維加熱/冷卻

控溫范圍及精度：-150℃～600℃；±1℃

8 EDR技術：動態范圍增2個量級

9 本底真空：＜5×10-10mba

    儀器運行和管理人李展平高級工程師2005年被人才引進到清華大學分析中心，在國內外多年從事表面分析特別是TOF-SIMS的分析研究工作。

基本功能：

可用以表面下范圍在2nm以內的最表層分析，能檢測出包括氫(H)在內的所有元素及其同位素，對所有元素具有極高的檢測靈敏度(ppm～ppb,因元素而異)，可檢測痕量雜質，及微量摻雜對材料和器件性能的影響；能測定從表面到深至數十μm的微量元素及化合物濃度布；能觀測各種元素及化合物的1D、2D、3D分布，具有很高的空間分辨率(＜100nm)；能分析絕緣材料；能鑒定有機化合物分子，對有機材料結構分析有獨特的能力，適于分析大分子、超高分子量有機化合物，并能測定分子量；能取得單分子層表面結構信息。      

應用領域：

適用于有機、無機、生物、醫學、電子、地質/考古、環境等各種領域的各種固體材料的分析。在有機納米材料和器件、有機/高分子材料微量添加劑、微電子材料、催化劑、摩擦化學、新藥創制、環境微顆粒微量成分、生物細胞分析等的研究開發中，它已成為必不可少的工具。