第二屆“半導體材料與器件量測和檢測技術”培訓班開班：強化技能，驅動產業升級

半導體行業生產工藝復雜，設備精密度要求高，整體流程涉及眾多工序。隨著工藝不斷提升，制造難度及品質管控難度呈指數級增長，對材料純度、制造精度等要求極高，材料、器件的分析檢測技術面臨巨大挑戰。為應對這些挑戰，培養半導體分析檢測技術專業人才，由中國科學院人事局資助、中國科學院上海硅酸鹽研究所主辦，上海材料與制造大型儀器區域中心和上海無機非金屬材料分析測試專業平臺協辦的第二屆“半導體材料與器件量測和檢測技術”培訓班于2025年10月27日在上海舉辦。培訓班采用專題講座、專項技術培訓、現場參觀和實踐技能交流等多種方式，致力于提升科技人員的科學實驗技能和實驗儀器的使用效能。分析測試百科網作為本次培訓班的支持媒體進行持續報道。

第二屆“半導體材料與器件量測和檢測技術”培訓班參會人員合影

中國科學院上海硅酸鹽研究所所長 蘇良碧研究員

會議伊始，中國科學院上海硅酸鹽研究所蘇良碧所長進行開班致辭。他對各位與會院士、專家及學員表示熱烈歡迎。他指出，半導體產業的高速發展對材料與器件的檢測技術提出了極致要求，先進的分析檢測技術是半導體產業創新的關鍵支撐。本屆培訓班邀請了包括院士、研究員、教授等在內的國內頂尖專家學者組成強大師資隊伍，還引入了產業界專家進行系統的教授。培訓班搭建高水平學習交流平臺，助力學員提升能力，推動產業發展。他希望學員們能珍惜機會，深入交流，共同進步，為半導體事業貢獻力量，并預祝培訓班圓滿成功。

報告主持：毛朝梁（左）、錢榮（右）

第一天的培訓報告分別由上海硅酸鹽所所務委員毛朝梁和無機材料分析測試中心副主任錢榮主持。

華東理工大學 朱為宏院士

首先由華東理工大學朱為宏院士帶來題為“電子化學品：品控與創新”的培訓報告，報告深入探討了電子化學品在半導體制造中的關鍵作用，分析了我國在該領域的現狀和未來趨勢。

朱為宏院士指出，中美貿易摩擦背景下，電子化學品產業面臨高端產品“卡脖子”、產品品質管控難、專業人才不足等挑戰，我國需加強基礎研究和技術創新，推動產業升級。他強調光刻膠等關鍵材料的重要性，光刻膠是芯片制造的關鍵材料，其性能直接影響芯片質量。我國在光刻膠領域的國產化水平較低，原材料、配方、工藝等環節面臨諸多問題，需突破光刻膠關鍵原材料的國產化瓶頸，提升產品質量和競爭力。

此外，朱為宏院士還介紹了華東理工大學在電子化學品領域取得一系列成果，建立從反應、分離到檢測的完整體系，積極參與電子化學品創新平臺建設，推動產學研合作與成果轉化。

最后，朱為宏院士提出，我國電子化學品產業需加強質量管控和標準體系建設，提高產品穩定性和一致性，通過自動化檢測設備和標準化流程確保產品質量，同時加強人才培養，為產業發展提供有力支持。

中國科學院半導體研究所所長 譚平恒研究員

中國科學院半導體研究所所長譚平恒研究員作題為“各向異性半導體材料的角分辨拉曼光譜表征”的培訓報告。譚平恒所長首先介紹了拉曼光譜的基本原理和技術進展，指出拉曼光譜能夠提供材料振動模式和物理性質的關鍵信息。他詳細講解了如何通過波長坐標轉換為波數進行能量分析，并探討了各向異性材料的拉曼散射特性，指出材料的對稱性和晶體結構對拉曼光譜有顯著影響。

報告中，譚平恒所長還介紹了角分辨拉曼光譜技術，通過改變入射光和散射光的偏振方向，可以實現對材料對稱性和晶體取向的精確探測。他展示了該技術在二維材料和其他各向異性材料研究中的應用，并討論了實際應用中的挑戰及解決方案，總結了拉曼光譜技術在材料科學和器件研發中的具體應用實例。

中國科學院微電子研究所 周維虎研究員

中國科學院微電子研究所周維虎研究員帶來題為“集成電路測量技術現狀及發展趨勢” 的精彩報告。周維虎研究員從集成電路行業現狀及測量技術現狀、需求、挑戰、發展趨勢等方面展開分析。他指出，集成電路行業的發展對測量技術提出了更高要求。測量技術作為半導體制造的關鍵環節，其先進程度直接影響產品良率和質量，對行業競爭力有深遠影響。

報告詳細介紹了集成電路制造中的量測與檢測環節，涵蓋前道、中道和后道工藝的檢測項目和方法。前道工藝側重晶圓加工測量，中道工藝關注圖形化過程檢測，后道工藝涉及芯片封裝后的測試。實驗室檢測則在失效分析等方面發揮重要作用。

當前，集成電路測量技術面臨諸多挑戰，如新材料、新工藝、新結構的涌現，以及尺寸縮小帶來的測量精度要求提升等。三維結構的增加和材料復雜性的提升也加劇了測量難度。周維虎研究員表示，集成電路測量技術正向光學檢測技術分辨率提高、多系統組合、大數據檢測算法和軟件應用，以及先進數據分析技術普及等方向發展。

中國科學院上海有機化學研究所 郭寅龍研究員

中國科學院上海有機化學研究所郭寅龍研究員報告題為“激光燒蝕-碳纖維離子化質譜成像技術的開發與應用”。郭寅龍研究員詳細講解了激光燒蝕-碳纖維離子化質譜成像技術的原理和優勢，以及其高靈敏度和高選擇性在分析復雜樣品時的重要作用。

報告中，郭寅龍研究員還介紹了質譜成像技術在集成電路制造中的應用，通過激光燒蝕和碳纖維離子化技術，可以實現對樣品表面的高分辨率成像，幫助研究人員更好地理解材料的化學性質和結構。此外，他還提到了該技術在生物醫學領域的應用，如對生物組織的代謝物分布進行成像分析，為疾病診斷和藥物研發提供了新的手段。

郭寅龍研究員表示，激光燒蝕-碳纖維離子化質譜成像技術具有操作簡單、對樣品預處理要求低等優勢，該技術未來有望在半導體制造、生物醫學、環境科學等領域發揮更大的作用。

SCIEX應用工程師 趙劉清

來自SCIEX的應用工程師趙劉清分享了題為“液質聯用技術在半導體行業相關應用方案”的培訓報告。趙劉清介紹了液質聯用技術在半導體領域包括半導體制程、廢水回收和廢水排放等環節的應用。報告指出，液相色譜串聯質譜適用于有機化合物的定性定量分析，三重四級桿體系適合已知目標物的測定，而高分辨質譜系統適用于未知目標物的發現和鑒定。趙劉清詳細闡述了該技術在檢測全氟或多氟化合物、有機胺等污染物方面的優勢，并分享了光刻膠成分分析等案例，體現了液質聯用技術在半導體制造中對提升質量控制和降低污染物含量的重要意義。

培訓班現場

本次培訓班由中國科學院上海硅酸鹽研究所汪正研究員團隊帶領組織，為半導體領域的研究人員和分析工作者提供了一個優質的學習和交流平臺。培訓班上，專家學者們通過深入講解和案例分享，使學員們對半導體材料與器件的分析檢測技術有了更深入的理解，明確提升專業技能和解決實際問題的方向。此次培訓班的舉辦，促進了學術界與產業界的交流與合作，為推動我國半導體產業的高質量發展提供了強有力的支持。

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