電工所科技前沿論壇“微光刻與電子束光刻技術”開講
從1958年世界第一塊平面集成電路到2012年04月24日英特爾在北京天文館正式發布核心代號為Ivy Bridge的第三代酷睿處理器—英特爾首款22納米工藝處理器，短短五十多年，微電子技術一直遵循著摩爾定律，發展勢頭迅猛。 針對微光刻與電子束光刻技術發展圖譜，7月6日，中科院微電子所陳寶欽研究員做客電工所《科技前沿論壇》學術報告會，與電工所科研人員分享了一堂精彩的交流課。 作為全國半導體設備與材料標準化技術委員會副主任、微光刻分委會主任，全國納米技術標準化技術委員會微納加工技術工作組副秘書長，北京半導體專業委員會副主任、制版分會主任，陳寶欽研究員多年來一直從事光掩模與先進掩模制造技術、電子束光刻技術、微光刻與微納米加工技術的研究和開發工作。 本次報告，陳寶欽研究員主要講解了從1958年世界上出現第一塊平面集成電路到20世紀80年代世界上集成電路制造進入自動化大生產，再到2012年英特爾首款22納米工藝處......閱讀全文
電子束光刻投影電子束掃描系統
掃描式電子束曝光系統可以得到極高的分辨率，但其生產率較低，不能滿足大規模生產的需要。成形束系統生產率固然有所提高，但其分辨率一般在0.2μm左右，難以制作納米級圖形。近年來研發的投影電子束來曝光系統，既能使曝光分辨率達到納米量級，又能大大提高生產率，且不需要鄰近效應校正。在研制中的投影式電子束曝
電子束加熱
電子束加熱是相變處理時，電子束使金屬材料表面很快上升到奧氏體相變退度(低于熔化溫度)，持續一段時間后電子束停止轟擊.熱t很快向冷的荃體金屬擴散，使加熱表面自行淬火，其組織轉變為馬氏體，表面硬度顯著提離。電子束加熱(electron beam furnace)或譯電子束爐或簡稱EB爐(EB furna
電子束光刻成型電子束掃描系統
成形電子束曝光系統按束斑性質可分成固定和可變成形束系統。固定成形束系統在曝光時束斑形狀和尺寸始終不變；可變成形束系統在曝光時束斑形狀和尺寸可不斷變化。按掃描方式，成形電子束曝光系統又可分為矢量掃描型和光柵掃描型。一種尺寸可變的矩形束斑的形成原理是電子束經上方光闌后形成一束方形電子束，再照射到下方
電子束加熱歷史
電子束熔煉電子束熔煉的概念是M.V.皮拉尼(M.VonPirani)于1905年提出的，但直到50年代中期美國成功地開發電子束熔煉爐后才在熔煉難熔金屬鎢、鉬、鉭等的冶金領域獲得工業應用。1959年民主德國LEW公司開發了功率為45kw的電子束熔煉爐，60年代又先后研制出200kw和1200kw的電子
電工所科技前沿論壇“微光刻與電子束光刻技術”開講
從1958年世界第一塊平面集成電路到2012年04月24日英特爾在北京天文館正式發布核心代號為Ivy Bridge的第三代酷睿處理器—英特爾首款22納米工藝處理器，短短五十多年，微電子技術一直遵循著摩爾定律，發展勢頭迅猛。 針對微光刻與電子束光刻技術發展圖譜，7月6日，中科院微電子所陳
電子束ct的簡介
電子束CT亦稱超快速CT。它是利用電子束穿透人體及快速的床面移動來完成掃描的。其最快掃描速度為50ms/層。從總體上評價，它優于螺旋CT掃描 。主要是單位時間內掃描范圍比螺旋CT大，移動產生的偽影比螺旋掃描少。
電子束曝光共享應用
儀器名稱：電子束曝光儀器編號：22012325產地：中國生產廠家：卡爾蔡司公司型號：Sigma 300出廠日期：購置日期：2022-07-14所屬單位：物理系>電子曝光間放置地點：蒙民偉科技大樓S407固定電話：010-62797291固定手機：17356219197固定email：wangj22@
集成電路制造展會|2024上海集成電路應用展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
集成電路制造展會|2024上海集成電路制造展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
電子束蒸發的應用
常見于半導體科研工業領域。利用加速后的電子能量打擊材料標靶，使材料標靶蒸發升騰。最終沉積到目標上。
電子束蒸發的優點
電子束蒸發可以蒸發高熔點材料，比一般電阻加熱蒸發熱效率高、 束流密度大、蒸發速度快，制成的薄膜純度高、質 量好，厚度可以較準確地控制，可以廣泛應用于制備高純薄膜和導電玻璃等各種光學材料薄膜。電子束蒸發的特點是不會或很少覆蓋在目標三維結構的兩側，通常只會沉積在目標表面。這是電子束蒸發和濺射的區別。
電子束爐的相關介紹
用高速電子轟擊物料使之加熱熔化的電爐（圖4電子束爐示意）。在真空爐殼內，用通低壓電的燈絲加熱陰極，使之發射電子，電子束受加速陽極的高壓電場的作用而加速運動，轟擊位于陽極的金屬物料，使電能轉變成熱能。因為電子束可經電磁聚焦裝置高度密集，所以可在物料受轟擊的部位產生很高的溫度。電子束爐用于熔煉特殊鋼
電子束蒸發的優點
電子束蒸發可以蒸發高熔點材料，比一般電阻加熱蒸發熱效率高、 束流密度大、蒸發速度快，制成的薄膜純度高、質 量好，厚度可以較準確地控制，可以廣泛應用于制備高純薄膜和導電玻璃等各種光學材料薄膜。電子束蒸發的特點是不會或很少覆蓋在目標三維結構的兩側，通常只會沉積在目標表面。這是電子束蒸發和濺射的區別。
電子束光刻的特點
電子束曝光是用低功率密度的電子束照射電致抗蝕劑，經顯影后在抗蝕劑中產生圖形的一種微細加工技術。 這種曝光方式分辨率高、掩膜版制作容易、工藝容限大，而且生產效率高，但由于電子束在光刻膠膜內的散射，使得圖案的曝光劑量會受到臨近圖案曝光劑量的影響（即臨近效應），造成的結果是，顯影后，線寬有所變化或圖
電子束CT正常值
為了定量衡量組織對于X光的吸收率，Hounsfield定義了一個新的標度“CT值”。不同組織的CT值各異，各自在一定范圍內波動。骨骼的CT值最高，為1000HU，軟組織的CT值為20-70HU，水的CT值為0(?10)HU，脂肪的CT值為-50--100以下，空氣的CT值為-1000HU。 ?
電子束ct的相關疾病
獲得性免疫缺陷綜合征的心血管損害，老年人先天性心血管疾病，小兒皮膚黏膜淋巴結綜合征，輸卵管炎，蝶骨嵴腦膜瘤眼部病變，蜂窩肺綜合征
電子束蒸發的優點
電子束蒸發可以蒸發高熔點材料，比一般電阻加熱蒸發熱效率高、 束流密度大、蒸發速度快，制成的薄膜純度高、質 量好，厚度可以較準確地控制，可以廣泛應用于制備高純薄膜和導電玻璃等各種光學材料薄膜。電子束蒸發的特點是不會或很少覆蓋在目標三維結構的兩側，通常只會沉積在目標表面。這是電子束蒸發和濺射的區別。
電子束CT注意事項
檢查前：患者須攜帶有關檢查資料，包括以前檢查的CT，MRI和常規X線檢查的資料，以及其它臨床檢查資料。檢查時：聽從技術人員的指導，保持體位不動，配合檢查進行平靜呼吸、屏氣等。不適宜人群：嚴重的肝腎功能損害，重癥甲狀腺患者，急性胰腺炎；急性血栓性靜脈炎；多發性骨髓瘤等異質蛋白血癥，嚴重的惡病質。
電子束光刻相關介紹
電子束曝光（electron beam lithography）指使用電子束在表面上制造圖樣的工藝，是光刻技術的延伸應用。 光刻技術的精度受到光子在波長尺度上的散射影響。使用的光波長越短，光刻能夠達到的精度越高。根據德布羅意的物質波理論，電子是一種波長極短的波。這樣，電子束曝光的精度可以達到納
電子束曝光系統
電子束曝光是利用電子束在涂有感光膠的晶片上直接描畫或投影復印圖形的技術，它的特點是分辨率高（極限分辨率可達到3～8μm）、圖形產生與修改容易、制作周期短。它可分為掃描曝光和投影曝光兩大類，其中掃描曝光系統是電子束在工件面上掃描直接產生圖形，分辨率高，生產率低。投影曝光系統實為電子束圖形復印系統，
集成電路制造展會|2024上海模擬集成電路展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
集成電路制造展會|2024上海數/模混合集成電路展覽會「上海集成電路展」
展會概況展會名稱：2024中國（上海）集成電路產業與應用博覽會展會時間：2024年11月18-20日?論壇時間：2024年11月18日-19日展會地點：上海新國際博覽中心展會規模：50,000平方米、800家展商、90,000名專業觀眾??中國集成電路將順勢而為，逆勢崛起?“十四五”期間，我國半導體
電子束ct的注意事項
檢查前：患者須攜帶有關檢查資料，包括以前檢查的CT，MRI和常規X線檢查的資料，以及其它臨床檢查資料。 檢查時：聽從技術人員的指導，保持體位不動，配合檢查進行平靜呼吸、屏氣等。 不適宜人群：嚴重的肝腎功能損害，重癥甲狀腺患者，急性胰腺炎；急性血栓性靜脈炎；多發性骨髓瘤等異質蛋白血癥，嚴重的惡
電子束偏振測量精度破紀錄
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2024/3/518218.shtm
電子束實驗儀實驗內容
[儀器特點]1、本儀器結構簡單，原理直觀，無需另配其它設備，只用一套實驗儀器就可以做一系列內容由淺入深、系統性很強的基礎實驗，所得實驗數據結果的精度也很高。做完這一系列實驗之后，學生對有關物理現象的理論基礎能有比較深刻的印象。2、整個實驗儀器安裝在一只鋁合金機箱內，各個單元構成模塊化結構，根據不同實
電子束ct的檢查過程
(1) 做好病人的準備工作：按不同部位檢查的要求，做好病人的準備。對需要做增強的病人必須做好碘過敏試驗。向病人做好解釋工作，消除恐懼心理，使病人配合檢查。 (2) 掃描條件的選擇：包括體位、層厚和層距、掃描參數及掃描方式的選擇。
用電子束撞擊原子會怎樣
被質子俘獲，兩者形成中子，有能量放出。但是原子核體積相對于原子核之間的間隙的體積來說是極其微小的（原子核直徑約十的負十五次米，原子直徑約十的負十次米，直徑是十萬分之一，體積就是10000000000000000（15個0）分之一），你拿電子束去射，都從縫隙里穿過去了。就算不穿過去，它們還是會被核外電
關于電子束檢測的優勢介紹
相較于探針式(Probe)電性量測，電子束檢測具有兩個顯著優勢，能在制作電子元件的過程中，快速反應制程問題： (一)即時性。能夠線上(in line)檢測缺陷狀況。 (二)預判性。無須制作電極(electrode pad)即可檢出。 進一步說明，元件的良率及電性表現必須在整體元件制程完成后
電子束CT的臨床意義
臨床意義CT檢查有廣泛的適用范圍和優點，但仍有其限度，最主要的是對病變檢測的敏感性高而特異性仍不很高；對胸部檢查雖可發現普通X線片不能檢出的隱匿性病變，但對肺的良性，惡性病變的區別仍十分困難；腹部病變的定性也存在不少問題。特別是CT檢查費用高，難以對早期腫瘤篩選，當前一般認為CT、B超、常規X線、核
簡述電子束檢測的檢測原理
電子束檢測其檢測方式，是利用電子束掃描待測元件，得到二次電子成像的影像，根據影像的灰階值高低，以電腦視覺比對辨識，找出圖像中的異常點，視為電性缺陷，例如，在正電位模式下，亮點顯示待測元件為短路或漏電，暗點則為斷路。 其工作原理是利用電子束直射待測元件，大量的電子瞬間累積于元件中，改變了元件的表