單波長能量色散X射線熒光分析技術

　　單波長能量色散X射線熒光分析技術(Monochromatic Excitation Beam Energy Dispersive X-Ray Fluorescence)，就是依靠雙曲面彎晶、二次靶或者多層膜彎晶等技術，將X射線管出射譜中的單一能量衍射聚焦到樣品一點，激發樣品中元素熒光，這樣極大降低了由于X射線管出射譜韌致輻射照射樣品而產生的背景干擾，從而獲得較佳的元素特征X射線熒光信號峰背比。是當前X射線熒光領域研發的核心技術。

　　X射線管產生的原級射線照射被測樣品表面，激發被測樣品中元素外層電子產生能級躍遷而釋放出元素特征X射線熒光，探測器將不同元素的特征X射線熒光收集并測量其能量和及數量，通過軟件將探測器收集到的信號轉換為元素種類及其含量，稱為能量色散X射線熒光分析技術（ED-XRF）。

　　ED-XRF技術原理圖

　　傳統的ED-XRF以制樣簡單、快速、無損等特點，目前已廣泛應用于金屬成分分析、水泥、礦產冶煉、環境保護、石油化工、考古、科研等行業。但其自身因X射線光管出射譜中連續軔致輻射的散射使得熒光光譜的連續散射背景較高，導致元素含量檢出限較高，無法實現在元素含量較低情景下的測量需求。

　　單波長能量色散X射線熒光分析技術，光管出射射線不直接入射樣品，而是通過雙曲面彎晶將X射線管出射譜中的單一能量衍射聚焦到樣品一點，激發樣品中元素熒光，這樣極大降低了由于X射線管出射譜韌致輻射照射樣品而產生的背景干擾，從而獲得較佳的元素特征X射線熒光信號峰背比，降低了元素的檢出限。

　　MED-XRF技術原理圖

　　雙曲面彎晶將微焦斑X射線管發射的原級X射線的特征射線單色化并聚焦于測試樣品的表面：

　　 出射原級譜與經雙曲彎晶單色化對比圖

　　單波長能量色散X射線熒光分析技術通過雙曲彎晶大大降低了元素的檢出限，將XRF元素檢測范圍延伸至微量甚至痕量，從而在石油化工、環境保護、食品安全、中藥重金屬、等行業得到了廣泛的應用。