對于原子層沉積系統（ALD）的研究
原子層沉積（ALD）的自限制性和互補性致使該技術對薄膜的成份和厚度具有出色的控制能力，所制備的薄膜保形性好、純度高且均勻，因而引起了人們廣泛的關注。原子尺度上的ALD過程仿真對深入了解沉積機理，改進和優化薄膜生長工藝，提高薄膜質量，改善薄膜性質具有重要意義。在深入了解ALD的工藝特點及工藝過程后，針對H-Si（100）表面上沉積Al<,2>O<,3>；的ALD過程的仿真進行了多方面的探索研究，并取得了一些創新性結果。 1）提出ALD過程通常存在初始沉積和后續生長兩個不同的沉積階段，薄膜的生長模式分別表現為島狀生長和層狀生長，其中初始沉積階段對薄膜形態有著不可忽略的影響。 2）以Al<,2>O<,3>；的ALD過程為參考，給出了原子層沉積實驗裝置的初步設計方案。 3）以Al<,3>O<,4>；尖晶石晶體結構為基礎，構建仿真二維單元模型，通過分析不同沉......閱讀全文
中科院山西煤化所在氣體分離領域取得進展
膜分離技術是適應當代新產業發展最有前途的分離技術之一。與傳統的分離凈化工藝相比，膜分離技術分離條件溫和，選擇性更高，逐漸在石油、天然氣、化工、醫藥、輕紡、冶金、電子、食品、環保、海水淡化等領域得到廣泛關注和應用。與其他聚合物分離膜相比，自聚微孔聚合物中大量的微孔可為氣體提供良好的傳輸通道
中科院山西煤化所在氣體分離領域取得進展
膜分離技術是適應當代新產業發展最有前途的分離技術之一。與傳統的分離凈化工藝相比，膜分離技術分離條件溫和，選擇性更高，逐漸在石油、天然氣、化工、醫藥、輕紡、冶金、電子、食品、環保、海水淡化等領域得到廣泛關注和應用。與其他聚合物分離膜相比，自聚微孔聚合物中大量的微孔可為氣體提供良好的傳輸通道
智能集菌儀適用范圍
智能集菌儀適用范圍適用范圍:1. 制藥行業：純化水、注射用水、無菌制劑（大輸液、小針劑、粉劑、生物制品、血液制品、眼用制劑、保養液等）的無菌檢查和微生物限度檢查；2. 醫療器械行業：純化水、注射用水、注射器、輸液器、輸血器、靜脈導管等的無菌檢查和微生物限度檢查；3. 食品、飲料行業；4. 環保行業等
2380萬元－蘇州納米技術與納米仿生研究所采購意向公布
近日，中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所發布2025年1至12月政府采購意向。本次意向采購項目總預算2380萬元，采購等離子體超高真空高溫原子層沉積（ALD）、離子刻蝕顯影系統、深紫外相干飛秒種子光源等儀器設備。
冠層分析系統在果樹冠層分析研究中的應用
果樹栽培有四個標準，第一個標準叫合理的樹形標準，第二個標準豐滿的樹體標準，第三健康的樹勢標準，第四優質的果實標準。由此可見果樹的外觀形態對于其生長生產都有十分密切的關系。果樹冠層是果樹的一個重要外觀形態，也是果樹最先接觸外界環境與光照的部位，更是果樹光合作用和呼吸作用的直接通道，因此應用冠層分析系統
山西煤化所用ALD技術制備出新型納米催化劑
從中科院山西煤炭化學研究所獲悉，煤轉化國家重點實驗室研究員覃勇帶領的研究團隊，利用ALD技術設計制備出一種多重限域的Ni基加氫催化劑。與未限域的催化劑相比，多重限域的Ni基催化劑對于肉桂醛以及硝基苯的加氫催化反應的活性、穩定性得到顯著的提高。相關工作近日發表在Angew. Chem. Int.
研究評估大灣區沉積層厚度、古河道分布及災害風險
近日，中國科學院廣州地球化學研究所聯合廣東省地震局和浙江海洋大學，在國家重點研發計劃、國家自然科學基金等項目的資助下，研究評估了粵港澳大灣區沉積層厚度、古河道分布及災害風險。相關成果發表于《美國地震學會公報》（Bulletin of the Seismological Society of Amer
研究發現基于單原子層的新型單光子源
中國科學技術大學教授潘建偉、陸朝陽等與來自華盛頓大學的許曉棟、香港大學的姚望合作，首次在類石墨烯單原子層半導體材料中發現非經典單光子發射器，從而將量子光學和二維材料這兩個重要領域連接起來，打開了一條通往新型光量子器件的道路。相關成果日前在線發表于《自然—納米技術》雜志。同期“新聞視角”欄目撰文評
薄膜沉積設備工藝升級－差異化布局加速國產化進程
? ? 本篇報告通過對邏輯、存儲芯片的微觀結構拆分展示了薄膜結構的種類多樣性、工藝復雜性以及多款設備相互補充等特性，并從制程推進、多層趨勢、工藝迭代等維度論述了薄膜沉積設備行業的成長性。薄膜沉積設備與光刻、刻蝕并列作為IC 前道制造三大主設備之一，全球市場空間超過200 億美元，當前國產化率不足5%
大連化物所發展出抑制光催化分解水制氫逆反應新技術
近日，中國科學院大連化學物理研究所催化基礎國家重點實驗室、太陽能研究部中科院院士李燦、博士后李政和研究員李仁貴等，在納米顆粒光催化完全分解水制氫的逆反應（氫氣和氧氣復合生成水的反應）研究方面取得新進展，確認光催化完全分解水逆反應發生于低配位活性位點，并利用原子層沉積技術精準定點修飾抑制逆反應，從
大連化物所發展出抑制光催化分解水制氫逆反應新技術
近日，中國科學院大連化學物理研究所催化基礎國家重點實驗室、太陽能研究部中科院院士李燦、博士后李政和研究員李仁貴等，在納米顆粒光催化完全分解水制氫的逆反應（氫氣和氧氣復合生成水的反應）研究方面取得新進展，確認光催化完全分解水逆反應發生于低配位活性位點，并利用原子層沉積技術精準定點修飾抑制逆反應，從
大連化物所發展出抑制光催化分解水制氫逆反應新技術
近日，中國科學院大連化學物理研究所催化基礎國家重點實驗室、太陽能研究部中科院院士李燦、博士后李政和研究員李仁貴等，在納米顆粒光催化完全分解水制氫的逆反應（氫氣和氧氣復合生成水的反應）研究方面取得新進展，確認光催化完全分解水逆反應發生于低配位活性位點，并利用原子層沉積技術精準定點修飾抑制逆反應，從
其他薄膜沉積設備的薄膜沉積技術分類
薄膜沉積技術可以分為化學氣相沉積（CVD）和物理氣相沉積（PVD）。對于CVD工藝，這包括原子層沉積（ALD）和等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）。PVD沉積技術包括濺射，電子束和熱蒸發。CVD工藝包括使用等離子體將源材料與一種或多種揮發性前驅物混合以化學相互作用并使源材料分解。該工藝使用較
Easysensor微電極分析系統－沉積物/土壤微電極研究系統
微電極簡介：微電極是指工作面積很小的電極，至少一維度的尺寸為微米或納米級，可以無 損測量待測物的傳感器。環境領域常用的微電極類型包括鋼針電極和玻璃電極兩類。微電極以超尖的電極尖端為基礎，以μm級尖端穿刺測量水/土壤/沉積物/生物膜等剖面，電極尖端產生電壓或電流信號，通過軟件采集此信號，從而原位觀測微
大連化物所發展抑制光催化分解水制氫逆反應新技術
近日，大連化物所催化基礎國家重點實驗室、太陽能研究部(DNL16)李燦院士、博士后李政和李仁貴研究員等在納米顆粒光催化完全分解水制氫的逆反應(氫氣和氧氣復合生成水的反應)研究方面取得新進展，確認光催化完全分解水逆反應發生于低配位活性位點，并利用原子層沉積技術精準定點修飾抑制逆反應，從而顯著提升了光催
新技術抑制光催化分解水制氫逆反應
原文地址：http://news.sciencenet.cn/htmlnews/2023/1/492771.shtm 近日，中科院大連化物所催化基礎國家重點實驗室、太陽能研究部（DNL16）李燦院士、博士后李政和李仁貴研究員等在納米顆粒光催化完全分解水制氫的逆反應（氫氣和氧氣復合生成水的反應）研
我所發展抑制光催化分解水制氫逆反應新技術
近日，我所催化基礎國家重點實驗室、太陽能研究部（DNL16）李燦院士、博士后李政和李仁貴研究員等在納米顆粒光催化完全分解水制氫的逆反應（氫氣和氧氣復合生成水的反應）研究方面取得新進展，確認光催化完全分解水逆反應發生于低配位活性位點，并利用原子層沉積技術精準定點修飾抑制逆反應，從而顯著提升了光催化
微電子所新型三氧化二鋁表面鈍化研究獲進展
日前，中科院微電子研究所在新型Al2O3表面鈍化研究上取得突出進展。 良好的表面鈍化對于提升晶體硅太陽能電池的開路電壓十分重要，傳統晶體硅電池常用等離子體增強化學氣相沉積法沉積SiNx:H薄膜，除了能夠降低反射率以外，還對Si電池的表面進行了較好的鈍化。然而傳統SiNx:H薄膜
石墨烯原子級層間剪切作用研究獲進展
近日，中國科學院國家納米科學中心納米系統與多級次制造重點實驗室研究員張忠、劉璐琪和清華大學教授徐志平合作，設計和發展了微納鼓泡力學實驗技術，精確表征了雙層石墨烯層間的范德華剪切作用，相關研究成果Measuring Interlayer Shear Stress in Bilayer Graphe
又一國家重大儀器項目通過驗收
國家自然科學基金國家重大科研儀器研制項目“二維電子材料及納米量子器件的研究和原位分析儀器”驗收會在微電子所召開。基金委副主任陸建華，基金委信息科學部主任郝躍、常務副主任張兆田、副主任何杰，中科院副院長李樹深，條財局副局長曹凝，微電子所黨委書記、副所長（主持工作）戴博偉，微電子所副所長王文武，黨委
山西煤化所團隊在多相催化中溢流現象研究獲系列進展
溢流現象在多相催化中廣泛存在，備受關注。深入理解溢流效應或反應物種的輸運規律，有助于闡明催化機理，是實現高效催化劑的理性設計，特別是反應選擇性調控（加氫、氧化反應等）的前提條件。近日，中國科學院山西煤炭化學研究所研究員覃勇、高哲團隊撰寫的綜述性論文Spillover in heterogeneo
分子“模板”可控制合成材料的形狀
據美國物理學家組織網11月16日報道，美國科學家研制出了一種新的材料合成方法，可以更好地控制合成材料的幾何形狀和化學成分。使用這種方法合成的新材料如能很好地結合無機材料的功能，將有望用于制造新一代太陽能電池、催化劑以及光子晶體。 美國能源部下屬阿貢國家實驗室納米尺度材料和能源系統分部的化學
冠層分析系統可用于哪些研究和教學？
在農業生產的過程中，可以說各項農藝措施都是圍繞農作物展開的，因此隨著農業科技的發展，植物生理生態研究是繞不開的一個課題。而植物冠層分析是植物生理生態研究中的一項重要內容，開展該項研究，對于了解作物的生長發育、產量品質與光能利用間的關系，以及改進生產工藝等，都有十分重要的意義。因此為了更好的開展植物冠
鉑分解技術讓燃料電池更具成本效益
通過使用加拿大光源中心(CLS)的同步加速器，研究人員發現，將昂貴的鉑金屬分解成納米粒子(甚或是單個原子)可制造出更低成本的燃料電池。 在麥克馬斯特大學、CLS同步加速器、巴拉德動力系統公司的通力合作下，研究人員開發出一種利用原子層沉積(ALD)的新方法。這種表面科學技術可用于對化合物進行
氣體分析系統對于取樣的要求？
(1)由取樣點取出的樣氣應有代表性,在通過取樣系統后不應引起組份和含量的變化。(2)樣氣應避免液體混入;若工藝管線管壁易附著臟物時,應將取樣探頭插入管線中心;當樣氣中含有固體顆粒時,則必須在取樣處加裝過濾器,并備有反吹接口。(3)根據取樣的工藝狀況,取樣系統應具備相應的減壓穩流、冷凝液排放、超壓放空
山西煤化所均相催化劑多相化研究取得新進展
近日，中國科學院山西煤炭化學研究所煤轉化國家重點實驗室覃勇研究團隊提出了利用擴散限制的原子層沉積（Diffusion-limited Atomic Layer Deposition，ALD）實現均相催化劑多相化的普適性方法。該方法通過在介孔分子篩孔口選擇性沉積金屬氧化物構筑中空鉚釘結構，孔口孔徑
山西煤化所均相催化劑多相化研究取得新進展
近日，中國科學院山西煤炭化學研究所煤轉化國家重點實驗室覃勇研究團隊提出了利用擴散限制的原子層沉積（Diffusion-limited Atomic Layer Deposition，ALD）實現均相催化劑多相化的普適性方法。該方法通過在介孔分子篩孔口選擇性沉積金屬氧化物構筑中空鉚釘結構，孔口孔徑
我國學者在加氫催化劑精準設計方面取得進展
在國家自然科學基金項目（批準號：22025205、21673215、91945302、22072092、92045301）等資助下，中國科學技術大學路軍嶺教授團隊與李微雪教授等團隊合作，精準設計出單原子殼層的Au@Pt/SiO2雙金屬催化劑，從而打破了Pt催化劑活性—選擇性的“蹺蹺板”困境，在溫和條
石墨烯修復告別“大水漫灌”開啟“精準滴灌”
?石墨烯薄膜缺陷的快速修復過程示意圖。（趙文杰提供）近期，中國科學院寧波材料技術與工程研究所海洋實驗室苛刻環境材料耦合損傷與延壽團隊，設計了一種快速、精準修復石墨烯薄膜缺陷的方法，可以在15分鐘內高效地修復石墨烯薄膜上多尺度和多類型缺陷，在提高石墨烯薄膜腐蝕防護性能的同時不影響石墨烯優異的導電性能。
多孔單晶表面精細結構調控增強一氧化碳氧化研究獲進展
多孔單晶兼具長程有序晶格結構和無序連通孔道結構的雙重優勢。多孔單晶晶格結構清晰、化學組分精準、終止表面明確，可構筑連續高度扭曲活性表面及精細結構，對于研究各類實際催化反應中的表面結構及催化機制具有重要意義。 中國科學院功能納米結構設計與組裝/福建省納米材料重點實驗室研究員謝奎課題組通過晶格重構