應用于射頻的集成無源器件硅基轉接板技術
摘要 展示了一種應用于射頻微系統領域的可以集成射頻無源器件的硅基轉接板結構。該結構將電感、電容、電阻、傳輸線和 TSV 等集成在適用于微波應用的高阻硅襯底上，可實現芯片級的CMOS 、 MMIC 及 MEMS 多種不同材料器件集成。采用這種方法制備的傳輸線損耗在 40 GHz 為0.34 dB/mm ，電容密度達到 1.05 fF/μm 2 ， 2.5 圈 8 nH 電感最大 Q 值在 1.5 GHz 達到 16 。這項制造技術與 CMOS 制造工藝兼容，可為超高集成度的三維集成型化射頻微系統提供有力支撐。 引言 過去幾十年中，電子器件一直遵循摩爾定律通過減小加工線寬提高器件性能。近年來隨著加工精度下降，到達 9 nm 甚至更小以后摩爾定律開始難以為繼。半導體行業發展的重點逐漸轉移到小型化、多功能的微系統上，即所謂的超越摩爾路線。同時，隨著 ......閱讀全文
2024上海國際元器件制造設備展「時間/地點/展覽館」
電子元器件展，電子儀器儀表展，電子儀器儀表展，電子元器件展，電子設備展，電子設備展，電子元器件展覽會，電子儀器展，電子儀器展，電儀器展覽會，繼電器展，電容器展，連接器展，集成電路展2024上海國際電子元器件材料設備展覽會地點：上海國際博覽中心2024年11月18-20日【指導單位】中國電子器材有限公
2024上海國際表面貼裝技術展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際SMT設備展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際陶瓷元器件展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際MLCC展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際射頻/微波/毫米波元件展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際處理器展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際存儲器展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際硅器件展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際功率電子器件展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際半導體器件展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際量子器件展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際第三代半導體器件及材料展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際智能電源產品展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際封裝材料展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際芯片和封裝展「時間/地點/展覽館」
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2024上海國際分析儀器展「時間/地點/展覽館」
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2024第14屆上海國際集成電路設計展覽會
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2024中國(上海)國際超導材料及超導電子器件展覽會
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2024上海電子元器件展－2024第104屆中國上海電子展官網
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2024上海電子元器件展網站首頁
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上海電子展2024年展覽時間及地點
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上海電子展2024年上海電子展免費注冊通道避免排隊提前注冊
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【2024上海電子展|2024中國(上海)104屆電子展覽會】
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【2024上海元器件展官方本周有優惠先到先得】
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本周有8折2024上海元器件展,2024.11.1820,在上海開展
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2024中國(上海)國際電子陶瓷及元器件展覽會
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2024電子元器件展|2024第14屆上海國際電子元器件展覽會
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2024中國特種電子元器件展時間+地點+詳情(上海特種電子元器件展
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上海·2024電子元器件展｜2024上海國際電子元器件展覽會「官網」
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