X射線管出射譜（或測量得到）；
X射線光與物質相互作用，即產生元素熒光射線的過程；
采用迭代求解算法對探測器采集譜和計算譜擬合計算，得到元素含量；
基本參數法是對X射線的產生入射、X射線與物質相互作用、探測器的采集譜，根據已經掌握的數據庫和物理理論進行計算，將計算譜與實測譜進行對比，通過迭代過程不斷逼近真實含量。以迭代的收斂的結果，作為定量結果。因此基本參數法大大降低了對標準樣品的依賴，目標是對X射線熒光光譜進行無標定量分析。
顯然，基本參數法充分計算了基體吸收效應、元素間吸收-增強效應等，解決了XRF儀器對大量標準物質的依賴，拓寬了適應性，提升了XRF元素定量精度。基本參數法發展到現階段，其計算精度與其軟件能力和完整性等相關。