XRD衍射儀測什么

測晶格常數，衍射峰強度等，能夠做物相分析，看出物質組成，以及物質的相。高分辨的還可以測小角度散射&衍射，薄膜反射率，密度，多層膜厚度，表面與界面粗糙度，RSM，pole figure。