固體樣品包括粉末樣品、固體金屬和非金屬樣品、固體塊狀樣品。對于固體樣品，可以采取將其制成溶液后按液體樣品方式測定的方法，也可以直接以固體形態進行測定。而對于金屬樣品一般直接取樣分析。
粉末樣品制樣方式比較多，通常采取壓片法和熔融法。兩者各有優缺點，壓片法操作簡便快捷但是干擾嚴重，測量精密度和準確度較差；熔融法消除了粒度影響、基體效應下降，測量的精密度和準確度高，但是操作復雜，技巧性較強。
