一、主機室環境溫度和濕度的控制,溫度在15~25℃,濕度<70%。
二、主機24小時運行,做實驗前先檢查真空情況,要求主機鏡筒真空高于2×10-5Pa,并且高壓指示燈(綠燈)亮后,方可加高壓。另外打開氮氣閥,供主機氣閥用。
三、加高壓必須按如下程序進行,即20→100KV為2min,等待3 min,100→160KV為6min,等待5min,160→180KV為8min,等待5min,180→200KV為15min,等待5min。
四、將液氮加入冷井(小心燙傷)
五、根據實驗要求選定試樣臺(單傾或雙傾),將觀察試樣小心裝上試樣臺。插入試樣臺前檢查主機工作參數顯示屏上試樣臺的參數條件,選定參數后,插入試樣臺進行預抽真空,等待綠燈亮后過15min,完全插入試樣臺,再過2min后加燈絲電流。
六、試樣觀察分析
1、1~5合軸;
2、小心移動試樣臺,觀察分析試樣;
3、根據要求選擇、調整聚光鏡、物鏡和選區的光欄;
4、聚焦、拍照,
5、在高倍條件下需進行電壓中心和像散調整。
七、試樣觀察完畢后,將放大倍數設定在40K,束流聚焦在觀察屏中心,關掉燈絲電流,復位試樣臺至“0”,然后小心拉出試樣臺。
八、實驗完畢后,先退下高壓至20KV(200→20KV為2min),然后關掉高壓。
九、置ACD模式,將冷井中剩余的液氮加熱。
十、離開實驗室前,認真檢查空調和除濕機的運行情況。
十一、維護保養
1、檢查高壓箱、電子槍的SF6氣壓(一星期一次);
2、檢查機械泵的油面和清潔度(兩星期一次);
3、檢查冷卻水箱液面高度和清潔度(一星期一次);
4、空氣壓縮機放水(一星期一次);
5、空調過濾網清洗(每月一次)。