AvaSoft-Thinfilm 薄膜測量軟件
AvaSoft-Thinfilm軟件是個獨立的軟件包，與AvaThinfilm薄膜測量系統相配套。AvaThinfilm系統在本手冊應用章節里有詳細介紹。
AvaSoft-Thinfilm應用軟件通過已知光學參數的透光膜層的上下表面反射所形成的干涉光譜來計算該膜層的厚度。
AvaSoft-Thinfilm應用軟件采用了兩種計算薄膜厚度的方法：快速傅立葉變換（FFT）和最佳擬合優化算法（光譜匹配）。FFT方法的主要判據是干涉圖形的疏密程度，這種方法常用于膜層厚度較厚的膜層測量。而光譜匹配優化算法可以測量各種厚度的膜層，它根據擬合系數來監控擬合的質量，或加快數據處理速度。