質量敏感型氣敏傳感器是由交變電場作用在壓電材料上而產生聲波信號,通過測量聲波參數(振幅、頻率、波速等)的變化從而得到被分析檢測物的信息,包括石英晶體微天平氣敏傳感器(體聲波)和表面聲波氣敏傳感器。體聲波器件因聲波從石英晶體或其他壓電材料的一面傳遞到另一面,在晶體內部傳播而命名;
而聲表面波器件是在固體的自由表面或者兩種介質的界面上傳播。傳遞過程中,基片或基片上所覆蓋的特殊材料薄膜與被分析的物質相互作用時,聲波的參數將發生變化,通過測量頻率或者波速等參數的變化量可得到被分析物的質量或濃度等相關信息。
表面聲波氣敏傳感器主要適用于有機氣體的檢測,其優點是成本較低,工作頻率較高,可產生更大頻率的變化,靈敏度高,反應速度快,檢測氣體的范圍比較廣泛,功耗低等。但是相對于石英晶體微天平氣敏傳感器而言,表面聲波氣敏傳感器的信噪比小,且對電路的要求更加復雜,其重復性也難以保證。