透射電鏡,即透射電子顯微鏡是電子顯微鏡的一種。電子顯微鏡是一種高精密度的電子光學儀器,它具有較高分辨本領和放大倍數,是觀察和研究物質微觀結構的重要工具。
電子顯微鏡是根據電子光學原理,用電子束和電子透鏡代替光束和光學透鏡,使物質的細微結構在非常高的放大倍數下成像的儀器。電子顯微鏡的分辨能力以它所能分辨的相鄰兩點的最小間距來表示。20世紀70年代,透射式電子顯微鏡的分辨率約為0.3納米(人眼的分辨本領約為0.1毫米)。現在電子顯微鏡最大放大倍率超過300萬倍,而光學顯微鏡的最大放大倍率約為2000倍,所以通過電子顯微鏡就能直接觀察到某些重金屬的原子和晶體中排列整齊的原子點陣。
1931年,德國的克諾爾和魯斯卡,用冷陰極放電電子源和三個電子透鏡改裝了一臺高壓示波器,并獲得了放大十幾倍的圖象,證實了電子顯微鏡放大成像的可能性。1932年,經過魯斯卡的改進,電子顯微鏡的分辨能力達到了50納米,約為當時光學顯微鏡分辨本領的十倍,于是電子顯微鏡開始受到人們的重視。到了二十世紀40年代,美國的希爾用消像散器補償電子透鏡的旋轉不對稱性,使電子顯微鏡的分辨本領有了新的突破,逐步達到了現代水平。在中國,1958年研制成功透射式電子顯微鏡,其分辨本領為3納米,1979年又制成分辨本領為0.3納米的大型電子顯微鏡。
電子顯微鏡的分辨本領雖已遠勝于光學顯微鏡,但電子顯微鏡因需在真空條件下工作,所以很難觀察活的生物,而且電子束的照射也會使生物樣品受到輻照損傷。其他的問題,如電子槍亮度和電子透鏡質量的提高等問題也有待繼續研究。
透射電鏡的成象原理是由照明部分提供的有一定孔徑角和強度的電子束平行地投影到處于物鏡物平面處的樣品上,通過樣品和物鏡的電子束在物鏡后焦面上形成衍射振幅極大值,即第一幅衍射譜。這些衍射束在物鏡的象平面上相互干涉形成第一幅反映試樣為微區特征的電子圖象。通過聚焦(調節物鏡激磁電流),使物鏡的象平面與中間鏡的物平面相一致,中間鏡的象平面與投影鏡的物平面相一致,投影鏡的象平面與熒光屏相一致,這樣在熒光屏上就察觀到一幅經物鏡、中間鏡和投影鏡放大后有一定襯度和放大倍數的電子圖象。由于試樣各微區的厚度、原子序數、晶體結構或晶體取向不同,通過試樣和物鏡的電子束強度產生差異,因而在熒光屏上顯現出由暗亮差別所反映出的試樣微區特征的顯微電子圖象。電子圖象的放大倍數為物鏡、中間鏡和投影鏡的放大倍數之乘
電鏡是材料科學、生命科學、半導體工業、納米技術等領域不可或缺的分析工具。電子顯微鏡主要包括:掃描電鏡(SEM)和透射電鏡(TEM),還有一種分類把聚焦離子束(FIB-SEM)單獨分出來,但在本文的統計......
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