掃描電子顯微鏡的英文全稱為Scanning Electron Microscope,簡稱掃描電鏡或者SEM。掃描電鏡是一種用于放大并觀察物體表面結構的電子光學儀器。掃描電鏡由鏡筒、電子信號的收集和處理系統、電子信號的顯示和記錄系統、真空系統和電源系統等組成,具有放大倍數可調范圍寬、圖像分辨率高和景深大等特點。掃描電鏡能用來做什么呢?請看小編下面的介紹吧:
一、觀察納米材料
尺寸在0.1nm-100nm范圍內 掃描電鏡重要特點是具有很高的分辨率
二、材料斷口的分析
景深大,圖象富立體感,焦深比透射電子顯微鏡大10倍,比光學顯微鏡大幾百倍。掃描電鏡顯示出來的斷口形貌從深層次,高景深的角度呈現材料斷裂的本質,在教學、科研和生產中,有不可替代的作用。
三、直接觀察原始表面
直接觀察直徑80mm,高35mm,或更長尺寸的試樣,對試樣的形狀沒有任何限制,粗糙表面也能觀察,這便免除了制樣的麻煩,而且能真實觀察試樣本身物質成分不同的襯度(背反射電子象)。
四、觀察厚試樣
其在觀察厚試樣時,能得到高的分辨率和最真實的形貌。掃描電子顯微鏡的分辨率介于光學顯微鏡和透射電子顯微鏡之間,但在對厚塊試樣的觀察進行比較時,因為在透射電子顯微鏡中還要采用復膜方法,而復膜的分辨率通常只能達到10nm,且觀察的不是試樣本身,因此,用掃描電鏡觀察厚塊試樣更有利。
五、觀察各個區域的細節
其他方式顯微鏡的工作距離通常只有2-3cm,故實際上只許可試樣在兩度空間內運動,但在掃描電鏡中則不同,可以讓試樣在三度空間內6個自由度運動,且可動范圍大,這對觀察不規則形狀試樣的各個區域帶來極大方便。
六、從高到低倍的連續觀察
掃描電鏡的放大倍數范圍很寬(從30到15萬連續可調),且一次聚焦好后即可從高倍到低倍、從低倍到高倍連續觀察,不用重新聚焦,這對進行事故分析特別方便。
七、觀察生物試樣
因電子照射而發生試樣的損傷和污染程度很小。同其他方式的電子顯微鏡比較,因為觀察時所用的電子探針電流小,電子探針的束斑尺寸小,能量小,而且不是固定一點照射試樣
以上就是掃描電鏡的應用范圍,由于掃描電鏡具有上述特點和功能,所以越來越多受到科研人員的重視,用途日益廣泛。現在掃描電鏡已廣泛用于材料科學、冶金、生物學、醫學、半導體材料與器件、地質勘探、病蟲害的防治、災害鑒定、寶石鑒定、工業生產中的產品質量鑒定及生產工藝控制等。
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