1、能進行微區分析。可分析數個μm3內元素的成分。
2、能進行現場分析。無需把分析對象從樣品中取出，可直接對大塊試樣中的微小區域進行分析。把電子顯微鏡和電子探針結合，可把在顯微鏡下觀察到的顯微組織和元素成分聯系起來。
3、分析范圍廣。Z>4其中，波譜：Be~U，能譜：Na~U。
