利用氣體分子的熱傳導現象,可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細線溫度同時,也受到細線本身的固體熱傳導和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單,價格低廉。
另外此真空計在大氣壓狀態下也不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出,因此在自動控制方面容易控制。