| 部件名稱 | 檢查項目 | 通常值（狀態） | 間隔 | |
| 制冷干燥機 | ||||
| 自動排水管 | 自動排水情況 | 每天 | ||
| 制冷介質 | 檢查滲漏 | 每天 | ||
| 熱交換器 | 檢查交換器表面上是否有灰塵或油污 | 一周 | ||
| 過濾器V-06110B | ||||
| 壓差式流量計 | 檢查不同流量的指示 | 指針在綠色區域 | 每天 | |
| PSA系統 | ||||
| 增壓 | 檢查吸附器的壓力上升 | 對照圖表3-3 | 每天 | |
| 檢查閥門工作狀態 | 檢查閥驅動的黃色指示記號 | 當閥開啟/關閉，黃色指示燈上下移動 | 每天 | 圖3-1 |
| 氧氣分析儀 | 記錄氧含量 | 小于或等于每天0.5％ | 每天 | |
| 檢查樣品流量和壓力，如果需要，進行調整 | 300ml/min 0.1MPa（a） | 每天 | ||
| 校正分析儀 | 標準氣 | |||
| 流量計 | 檢查氮氣流量計，如果需要，進行校正 | 約等于300或則小于等于300Nm3/h | 每天 | |
| 整個管道 | ||||
| 氮氣管道 | 檢查泄漏 | 無泄漏 | 每3個月 |