氦質譜檢漏儀的技術參數

　　最小可檢漏率： 5×10-12Pa·m3/s

　　漏率顯示范圍： 1×10-3～1×10-12Pa·m3/s

　　啟動時間： ≤5min

　　響應時間：<2S

　　檢漏口最高壓力： 300Pa

　　極限真空： 5×10-4Pa

　　外形尺寸： 560（W）×420（D）×300（H）

　　重量：46KG