更為準確的方式峰值定位的測量方式是借助光電測量系統與軟件相結合進行工作。盡管上述方式能精密找到譜線，同時又能對波長移動進行校正。但是由于瞬時的熱變化和機械變化，峰值偏差仍然略有存在，因此不能直接對波長波峰定位測量。用上述方法搜索所需的分析線后，在其譜線附近-0.025nm距離內，按光柵驅動發動機最小步進距離，選擇9個點（或11個點），對每個點光強測量將這些點的光強度擬合到波峰的數學模式中，算出實際的波峰最高強度，以此強度為分析線信號定值。
