原子熒光光譜分析法具有很高的靈敏度，校正曲線的線性范圍寬，能進行多元素同時測定。 它是介于原子發射光譜和原子吸收光譜之間的光譜分析技術。它的基本原理是基態原子（一般蒸汽狀態）吸收合適的特定頻率的輻射而被激發至高能態，而后激發過程中以光輻射的形式發射出特征波長的熒光。
雖然原子熒光法有很多優點，比如：譜線簡單、分析靈敏度高、干擾少等，但由于熒光猝滅效應，以致在測定復雜基體試樣及高含量樣品時，尚有一定的困難。此外，散射光的干擾也是原子熒光分析中的一個麻煩問題。因此，原子熒光光譜法在應用方面不及原子吸收光譜法和原子發射光譜法廣泛，但可作為這兩種方法的補充。