1）多元素同時檢測能力
可同時測定一個樣品中的多種元素，每一個樣品一經激發后，不同元素都發射特征光譜，這樣就可同時測定多種元素。
2）分析速度快。
由 （1）也可看出此優點。若利用光電直讀光譜儀，可在幾分鐘內同時對幾十種元素進行定量分析，分析試樣不經化學處理，固體，液體樣品都可直接測定。
3）選擇性好。每種元素因原子結構不同發射各自不同的特征光譜。在分析化學上，這種性質上的差異，對于一些化學性質極相似的元素具有特別重要的意義。例如，鈮和鉭、鋯和鉿等十幾種稀土元素用其他方法分析都很困難，而發射光譜分析可以毫不困難地將它們區分開來，并分別加以測定。
4）檢出限低。一般光源可達10μg /g~0.1μg /g （或μg/cm3），絕對值可達1μg~0.01μg。電感耦合高頻等離子體（ICP）光源檢出限可達ng/cm3級。
5）準確度較高。
一般光源相對誤差約為5%～10%，ICP相對誤差可達1%以下。
6）試樣消耗少。
7）ICP光源校準曲線線性范圍寬，可達4個~6個數量級。
這樣可測定元素各種不同含量（高、中、微含量）。一個試樣同時進行多元素分析，又可測定各種不同含量。目前ICP-OES已廣泛地應用于各個領域之中。