1、高壓泵：高壓泵的設置是為了使反滲透的進水達到一定的壓力，讓逆滲透過程得以進行，即克服滲透壓使水分子透過反滲透膜到達淡水層。
2、反滲透膜元件和壓力容器：反滲透裝置可以去除水中絕大部分無機鹽、微粒、細菌、病毒以及其他溶解性物質等。反滲透膜元件采用海德能公司生産的ESPA2高脫鹽率低壓膜，材質為芳香族聚酰胺復合膜。
3、自動沖洗裝置：反滲透去離子水設備在運行的過程中，濃縮過程和濃差極化將導致膜表面所接觸原水的固含量濃度遠遠大于原水的本體濃度。因此配備自動低壓沖洗裝置在開機前、停機后或連續運行一個可調整的期間后對反滲透膜進行定時的低壓沖洗，將附于膜表面的少量污染物沖走。沖洗完成后系統自動恢復到沖洗啓動前的狀態。反滲透裝置設有自動低壓沖洗保護裝置，當反滲透開機時該裝置自動發生沖洗膜的動作，以確保膜污染降到最低程度。