X射線衍射儀以 布拉格實驗裝置為原型，融合了機械與電子技術等多方面的成果。衍射儀由X 射線發生器、 X射線測角儀、 輻射探測器和輻射探測電路4個基本部分組成，是以特征X射線照射多晶體樣品，并以輻射探測器記錄衍射信息的衍射實驗裝置。現代X 射線衍射儀還配有控制操作和運行 軟件的計算機系統。X 射線衍射儀的成像原理與聚集法相同，但記錄方式及相應獲得的衍射花樣不同。衍射儀采用具有一定發散度的入射線，也用“同一圓周上的同弧 圓周角相等”的原理聚焦，不同的是其聚焦圓半徑隨 2θ的變化而變化。衍射儀法以其方便、快捷、準確和可以自動進行數據處理等特點在許多領域中取代了照相法，現在已成為晶體結構分析等工作的主要方法。