1、按四氟化氙(xenon tetrafluoride)與水以1:1摩爾比在液體HF中反應可制取。
2、控制六氟化氙(xenon hexafluoride)與被水蒸氣飽和過的空氣反應,有80%的XeF6轉化為XeOF4：XeF6+H2O→XeOF4+2HF.
3、把六氟化氙封裝在石英容器中,讓六氟化氙與二氧化硅緩慢反應,能生成四氟一氧化氙。使用上述反應時,應立即將生成的四氟一氧化氙則會繼續反應生成XeO3。2XeF6+SiO2→2XeOF4+SiF4.
4、由六氟化氙與三氟一氧化磷(POF3)反應制得。
5、將氙、氟和氧的混合物（Xe:F2=1:4,O2:F2=2.25）加熱到235°C,所得產物為六氟化氙和四氟一氧化氙。0°C下真空蒸餾,可以得到純凈的四氟一氧化氙液體。
6、根據反應：NaNO3+XeF6→NaF+XeOF4+FNO2.反應中所用的硝酸鈉預先在120℃的真空干燥箱中充分干燥,并研成細粉。反應在一10mL的不銹鋼反應管中進行,該反應管上安裝有不銹鋼閥,可與真空系統相連接。在充滿干燥氮氣的手套箱中,將0.26g NaNO3裝入反應管中。在反應管接入真空系統之后,將其放入－196℃的冷浴中,通過真空管線將0.84g六氟化氙加入其中。取下反應管使其升溫至室溫,然后放入70℃的烘箱中保持10h。再將其接入真空系統,并冷卻到－196℃,在接入真空系統的管線中還要接入兩個聚四氟乙烯的U形管冷阱,并分別冷卻到－78℃和－196℃。使不銹鋼反應管的溫度慢慢升高至室溫,則其中的揮發性產物經分步冷凝而得到分離。在－78℃的冷阱中是相當純凈的四氟一氧化氙,以投入的硝酸鈉計算產率可達82%。而在－196℃的冷阱中收集的是FNO2,不銹鋼反應管中的剩余物主要是NaF。