臭氧發生器的氣源可以是：空氣、液態氧（LOX）、氣態氧。
空氣制臭氧，臭氧發生設備投資高，運行電耗高，臭氧產量與質量分數低，臭氧質量分數一般在3%～4%，生產1 kgO3耗電量在23～25 kW·h。
液態氧（LOX）制臭氧，臭氧發生設備投資低，運行電耗也低。臭氧質量分數可達18%甚至更高，生產1 kgO3耗電量在10～13 kW·h。但液態氧一般需外購，臭氧發生總成本隨著液態氧價格的變化而變化。
氣態氧制臭氧，臭氧發生設備的投資比空氣制臭氧低，但比液態氧制臭氧要高。運行電耗也是介于兩者之間。臭氧質量分數也可達到18%甚至更高，生產1 kgO3耗電量在11～14 kW·h。
氣態氧一般是現場制取，制取的方法主要有： VPSA，VSA和PSA。它們都是利用分子篩吸附空氣中的氮氣，讓空氣中的氧氣從分子篩通過，從而達到空分的目的。當分子篩吸附飽和后，再通過變壓，使分子篩中的氮氣脫落從而得到再生。之后，分子篩再重新工作。
現場制氧氣，氧氣體積分數一般在90%～93%，生產1 kgO2能耗一般在0.3～0.4 kW·h 。
用液態氧制臭氧，試驗表明氧氣體積分數在97.7%，氮氣體積分數在2.3%時，臭氧發生器的臭氧產率最高。
對于不同的地區，究竟采用何種氣源，設計時應根據當地的電價和氧氣價格經成本分析后再確定。