俄歇電子能譜的定量分析或半定量分析

俄歇電子強度與樣品中對應原子的濃度有線性關系，據此可以進行元素的半定量分析。

俄歇電子強度除與原子的濃度有關外，還與樣品表面的光潔度、元素存在的化學狀態以及儀器的狀態（譜儀對不同能量的俄歇電子的傳輸效率不同）有關，譜儀的污染程度、樣品表面的C和O的污染、吸附物的存在、激發源能量的不同均影響定量分析結果，所以，AES不是一種很好的定量分析方法，它給出的僅僅是半定量的分析結果。

根據測得的俄歇電子信號的強度來確定產生俄歇電子的元素在樣品表面的濃度。元素的濃度用原子分數C表示。C即樣品表面區域單位體積內元素X的原子數占總原子數的分數（百分比）。定量分析方法有以下兩種：

(1) 標準樣品法

純元素標樣法：在相同條件下測量樣品中元素X和純元素X標樣的同一俄歇峰，俄歇電子信號強度分別為Ix和Ixstd，則：

Cx ＝Ix / Ixstd

多元素標樣法：用多元素標樣（各元素濃度均已知）代替純元素標樣，標樣的元素種類及含量與樣品相近。設Cxstd為標樣中元素X的原子分數，則：

Cx ＝Cxstd Ix / Ixstd

因需提供大量標樣，所以，實際分析中標準樣品法應用不多。

(2) 相對靈敏度因子法

該法是將各元素產生的俄歇電子信號均換算成純Ag當量來進行比較計算。具體過程：在相同條件下測量純元素X和純Ag的主要俄歇峰強度Ix和IAg，比值Sx＝Ix / IAg即為元素X的相對靈敏度因子，表示元素X產生俄歇電子信號與純Ag產生的相當程度。這樣，元素X的原子分數為：

式中，為Ii樣品中元素i的俄歇峰強度，Si為元素i的相對靈敏度因子，可從相關手冊中查出。因此，只要測出樣品中各元素的俄歇電子信號強度，查出相應元素的Si ，即可計算各元素的濃度，而不需要任何標樣。故相對靈敏度因子法最常用。