電感耦合等離子體原子發射光譜儀由樣品引入系統、電感耦合等離子體（ICP）光源、色散系統、檢測系統等構成，并配有計算機控制及數據處理系統，冷卻系統、氣體控制系統等。
ICP光源是ICP發射光譜儀的核心部分。原子發射光譜常用的激發源有火焰，電弧（直流電弧、交流電弧）、火花（高壓火花、低壓火花）、輝光放電、等離子體（直流等離子體DCP、電感耦合等離子體ICP、微波感生等離子體MIP、微波耦合等離子體CMP）。
