樣品制備在透射電子顯微分析技術中占有相當重要的位置．由透射電鏡的工作原理可知，供透射電鏡分析的樣品必須對電子束是透明的，通常樣品觀察區域的厚度以控制在約100～200 nm為宜．此外，所制得的樣品還必須具有代表性以真實反映所分析材料的某些特征，因此，樣品制備時不可影響這些特征，如已產生影響則必須知道影響的方式和程度．透射電鏡樣品制備是一個涉及面很廣的題目，方法也很多．選擇哪種方法，則取決于材料的類型和所要獲取的信息．透射電鏡樣品可分為間接樣品和直接樣品．本章僅介紹應用較廣的復型、電解雙噴、離子薄化等樣品制備技術．