原子熒光光譜法（AFS）是介于原子發射光譜（AES）和原子吸收光譜（AAS）之間的光譜分析技術。原子熒光光譜法( AFS) 因化學蒸氣分離、非色散光學系統等特性，是測定微量砷、銻、鉍、汞、硒、碲、鍺等元素最成功的分析方法之一。它的基本原理是基態原子（一般蒸汽狀態）吸收合適的特定頻率的輻射而被激發至高能態，而后激發過程中以光輻射的形式發射出特征波長的熒光。
