二次離子質譜法是指當初級離子束（Ar+，O2+，N2+, O-，F-，N -或Cs+等） 轟擊固體試樣表面時，它可以從表面濺射出各種類型的二次離子，利用離子在電場，磁場或自由空間中的運動規律，通過質量分析器，可以使不同質荷比的離子分開，經分別計數后可得到二次離子強度-質荷比關系曲線的分析方法。
