二、掃描電子顯微鏡 SEM 掃描電鏡的應用較為普遍,掃描電子顯微鏡原理是:通過光柵掃描技術來產生標本的放大圖像。它引導聚焦的電子束穿過樣品的矩形區域,當電子束通過時會產生能量損失。該能量會被轉換成熱、光、二次電子等能量同時反向散射電子。此時通過軟件系統進行翻譯轉換后得到清晰的標本圖像信息。從成像原理分析,掃描電子顯微鏡的分辨率會比透射電子顯微鏡的分辨率稍差。但它的優勢在于可以利用表面處理,創建大樣本的圖像,尺寸可達幾厘米,并且具有較大的景深。因此,來自 SEM 的圖像可以較好地表達樣品的真實形狀。
此外,一種稱為環境掃描電子顯微鏡 (ESEM) 的特定類型的 SEM 能夠對潮濕或包含在氣體中的樣品進行成像。這增加了顯微鏡可以使用的可使用范圍。
三、反射電子顯微鏡 REM 反射電子顯微鏡涉及檢測從被檢查的樣品反射的彈性散射電子束。反射高能電子衍射 (RHEED) 和反射高能損失光譜 (RHELS) 技術通常用于此類顯微鏡。
由于電子顯微鏡的原理及用途也各不相同,所以應用領域也不同。
比如:TEM透射電鏡廣泛應用于科研實驗室主要用于來研究細菌、組織切片和其他微生物。另外,SEM 還經常用于材料科學研究的測試和故障分析,檢查高溫下的超導體、合金強度和納米管,最終影響電子產品對航空航天業的影響。掃描電子顯微鏡還常用于法醫調查。比如:通過 SEM 所提供的放大倍數,來分析證據類型的來源,從而得出與法律目的相關的調查結論。